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真空上料機(jī)的核心部件主要包括真空泵、過(guò)濾器、氣動(dòng)放料門(mén)等，其國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程如下：
真空泵：在中低端市場(chǎng)，本土企業(yè)已實(shí)現(xiàn)規(guī)模化突破，例如某真空泵在光伏真空泵領(lǐng)域市占率超70%，并逐步切入半導(dǎo)體領(lǐng)域，2023年真空產(chǎn)品收入達(dá)16.42億元，占總營(yíng)收42.63%。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，某企業(yè)通過(guò)自主研發(fā)的干式真空泵技術(shù)，已在中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等企業(yè)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)交付，打破了多個(gè)國(guó)際品牌的壟斷，國(guó)產(chǎn)化率從不足5%提升至15%-20%。不過(guò)，在超高真空設(shè)備領(lǐng)域，本土企業(yè)仍落后于國(guó)際品牌，但正通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作加速突破。
過(guò)濾器：國(guó)內(nèi)企業(yè)在過(guò)濾器研發(fā)與生產(chǎn)方面取得了一定進(jìn)展。一些企業(yè)能夠生產(chǎn)多種類(lèi)型的過(guò)濾器，如聚酯覆膜過(guò)濾器、PE過(guò)濾器、316L不銹鋼過(guò)濾器等，滿足不同行業(yè)對(duì)真空上料機(jī)過(guò)濾性能的需求，例如，部分企業(yè)生產(chǎn)的不銹鋼過(guò)濾器，其過(guò)濾精度和耐腐蝕性能可與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美，且價(jià)格更具優(yōu)勢(shì)，在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的占有率逐漸提高。在一些對(duì)過(guò)濾精度要求較高的食品、醫(yī)藥等行業(yè)，國(guó)產(chǎn)過(guò)濾器也開(kāi)始得到廣泛應(yīng)用。
氣動(dòng)放料門(mén)：隨著國(guó)內(nèi)制造業(yè)的發(fā)展，氣動(dòng)放料門(mén)的國(guó)產(chǎn)化替代也在穩(wěn)步推進(jìn)。國(guó)內(nèi)一些企業(yè)通過(guò)引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)并進(jìn)行消化吸收，結(jié)合自身的創(chuàng)新能力，生產(chǎn)出的氣動(dòng)放料門(mén)在性能和質(zhì)量上有了很大提升，其密封性、可靠性和使用壽命等指標(biāo)都能滿足真空上料機(jī)的工作要求，并且在價(jià)格和售后服務(wù)方面具有明顯優(yōu)勢(shì)。目前，國(guó)產(chǎn)氣動(dòng)放料門(mén)已在國(guó)內(nèi)眾多企業(yè)的真空上料機(jī)設(shè)備中得到應(yīng)用，逐漸替代了部分進(jìn)口產(chǎn)品。
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